一、基本概念
TAC类金刚石涂层是一种非晶态碳涂层,具有类似金刚石的四面体键合结构(sp³ 键),因此兼具高硬度、低摩擦系数、耐磨损、耐腐蚀及良好的热导性等特性。其性能介于类金刚石纳米涂层(DLC)和传统硬质涂层之间,属于类金刚石涂层(DLC)的一种特殊类型,常用于对表面性能要求极高的精密零部件、工具及电子器件等领域。
二、主要特点
特性 |
具体表现 |
高硬度 |
硬度可达 2000-4000 HV(接近天然金刚石的硬度),显著提升基材抗磨损能力。 |
低摩擦系数 |
摩擦系数通常为 0.05-0.2,可减少摩擦损耗,降低能耗,延长部件使用寿命。 |
耐腐蚀性 |
对酸、碱、盐等化学介质具有良好抗性,适用于潮湿、腐蚀性环境。 |
热稳定性 |
相比普通 DLC 涂层,TAC 涂层耐高温性能更优(可耐受 200-400℃高温),不易因温度升高而失效。 |
高表面光洁度 |
涂层厚度均匀(通常 0.5-5μm),表面粗糙度低(Ra≤0.2μm),可保持零件精密配合精度。 |
良好附着力 |
与金属(如钢、钛合金)、陶瓷、半导体等基材结合力强,不易剥落。 |
三、制备工艺
TAC 涂层主要通过物理气相沉积技术制备,常见工艺包括:
离子束沉积
利用高能离子束将碳源(如石墨靶材)分解为离子,直接沉积在基材表面,形成高 sp³ 键含量的 TAC 涂层。
优点:涂层致密度高、结构均匀,性能接近天然金刚石。
缺点:沉积速率低,成本较高,适合小尺寸精密零件。
脉冲激光沉积
通过激光轰击石墨靶材,产生等离子体并沉积到基材表面,形成 TAC 涂层。
优点:可精确控制涂层成分和厚度,适合复杂曲面沉积。
缺点:设备复杂,大规模生产难度大。
磁控溅射沉积
利用磁控溅射技术将碳靶材溅射至基材表面,通过调节工艺参数(如功率、气压)控制 sp³ 键比例。
优点:沉积效率高,适合批量生产。
缺点:涂层 sp³ 键含量相对较低,硬度略低于 IBD 法制备的 TAC 涂层。
四、应用领域
TAC 涂层凭借其独特性能,广泛应用于以下领域:
机械加工工具
应用场景:铣刀、钻头、齿轮刀具等。
作用:减少刀具磨损,提高加工效率,延长刀具寿命(可提升 3-5 倍),尤其适合高硬度材料(如淬火钢、钛合金)加工。
汽车与航空航天
应用场景:发动机活塞环、气门挺杆、涡轮叶片、轴承等。
作用:降低摩擦损耗,提升部件耐腐蚀性和可靠性,适用于高温、高负荷工况。
电子与半导体
应用场景:硬盘磁头、MEMS 器件、半导体封装模具等。
作用:保护精密电子元件表面,减少接触电阻,提升器件稳定性和使用寿命。
医疗器械
应用场景:手术刀具、人工关节、牙科种植体等。
作用:增强表面生物相容性,减少细菌附着,同时提高耐磨性和抗腐蚀能力。
光学器件
应用场景:红外窗口、光学透镜、传感器表面等。
作用:提供高透光率、低反射率的耐磨涂层,保护光学元件表面免受刮擦和污染。
六、注意事项
基材预处理
涂层附着力依赖于基材表面清洁度和粗糙度,需通过喷砂、超声清洗等工艺去除油污和氧化层。
涂层厚度选择
需根据零件服役条件调整厚度:磨损严重场景(如刀具)可选 2-5μm;精密配合件(如轴承)宜选 0.5-1μm,避免影响公差配合。
后处理工艺
部分应用场景需对涂层进行抛光或钝化处理,以进一步降低表面粗糙度或提升耐腐蚀性。
成本考量
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