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1、洛氏硬度及可塑性模量。

类金刚石镀层（DLC），是一种四面非晶体碳,其sp3键含量为80%~90%，sp³与sp²键的比值较高，膜层内的成分对膜层的硬度有一定的影响， Si、N的掺入可以提高DLC膜的硬度。DLC膜具有较高的弹性模量，虽低于金刚石（110GPa），但明显高于一般金属和陶瓷的弹性模量。

2、内应力应变和构建屈服强度。

薄膜的内应力和结合强度是决定薄膜的稳定性和使用寿命，影响薄膜性能的两个重要因素，内应力高和结合强度低的DLC膜容易在应用中产生裂纹、褶皱，甚至脱落，所以制备的DLC膜最好具有适中的压应力和较高的结合强度。大部分研究表明，直接在基体上沉积的DLC膜的膜基结合强度一般比较低，通过采用Ti\TiN\TiCN\TiC中间梯度过渡层的方法提高DLC膜与基体的结合强度，在模具钢上沉积DLC膜的结合强度达44N-74N，制备的膜导总体厚度可达5um。

3、摩擦性能
DLC膜不仅具有优异的耐磨性，而且具有很低的摩擦系数，一般低于0.05，是一种优异的表面抗磨损改性膜。DLC膜与传统的硬质薄膜相比，在摩擦系数方面具有明显优势，这些传统硬质薄膜的摩擦系数都在0.4以上。因此，DLC膜有可能在许多摩擦学领域替代这些传统硬膜。制备的掺金属DLC膜具有良好的抗摩擦磨损性能及低达0.13-0.15的摩擦系数。

像徵型机械性驱动器包括跑步的那部分，如徵型打着机、齿圈、的轴承，在工作整个时中会经历作文外层的牢固紧密连接。在微尺幅下，黏力截取视频力特殊高，之所以气态加脂油的用剂不能是减小静静挤压力的很好经过。以Si为基本的徵型电心理、徵型打着机仅能没问题工作些许钟接下来最好会鉴于静静挤压力而导致爆破。DLC铝层具有很低的静静挤压力指数公式但会磨耗率(每行业划屏间隔的磨耗量)也很低，使鸟卵成為MEMS机械自然的固态硬盘加脂油的用剂。研究一阶段的线形电心理，划屏件外层覆盖率了5~15nm厚的DLC层，延长至了零件的用期至(15~80）×106个过渡期。其实基本上都数的MEMS无刷电机并还应在锈蚀性的新鲜空气环镜中，但鸟卵最好会确认物理防御吸咐用来使用到外物锈蚀环镜，这整个时则会使材料的静静挤压力抗磨损特性生产一定大的浮动。四周围体非晶碳膜(ta-C)在这方便的主要展现比含氢非晶碳膜(a-C：H)领先，鸟卵的静静挤压力指数公式在真空箱及烘干环镜下较高，但却在一定的区间内主要展现得很顺定，就是在干湿度增添的环镜中也无差异性增添。

4、耐腐蚀性
纯DLC膜具有优异的耐蚀性，各类酸、碱甚至王水都很难侵蚀它。但掺杂有其他元素的DLC膜的耐蚀性有所下降，这是由于掺杂的元素首先被侵蚀，从而破坏了膜的连续性所致。